චෙම්ෂුන්ඇලුමිනා වේෆර් ඔප දැමීමේ තහඩුව/හැරවුම් මේසය ඉහළ සංශුද්ධතාවයෙන් 99.7-99.9% ඇලුමිනා වලින් සාදා ඇත. ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ඇලුමිනා සෙරමික් වේෆර් ඔප දැමීම සඳහා කැපී පෙනෙන දෘඩතාවයක් සහ විශිෂ්ට ඇඳුම්-ප්රතිරෝධයක් ඇති අතර දිගු කාලයක් පුරා හොඳ මතුපිට හැඩයක් පවත්වා ගනී. එය PIBM මගින් හැඩගස්වා ඇත. එහි අසමසම තාප සහ මාන ස්ථායිතාව සහ දැඩි මයික්රොචිප් සැකසුම් උපකරණ පරිසරයන්ට ප්රතිරෝධය නිසා එය අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ සාමාජිකයෙකි.
රසායනික-යාන්ත්රික තලකරණය (CMP), රසායනික-යාන්ත්රික ඔප දැමීම ලෙසද හැඳින්වේ, එය අර්ධ සන්නායක උපාංග නිෂ්පාදන ක්රියාවලියේ තාක්ෂණයකි. එය සැකසීමේදී සිලිකන් වේෆර් හෝ අනෙකුත් උපස්ථර ද්රව්ය සමතලා කිරීමට රසායනික විඛාදනය සහ යාන්ත්රික බලවේග භාවිතා කරයි.
CMP උපකරණ ප්රධාන වශයෙන් කොටස් දෙකකට බෙදා ඇත: ඔප දැමීමේ කොටස සහ පිරිසිදු කිරීමේ කොටස. ඔප දැමීමේ කොටස කොටස් 4 කින් සමන්විත වේ, එනම් ඔප දැමීමේ ටර්න් ටේබල් 3 ක් සහ වේෆර් පැටවීමේ සහ බෑමේ මොඩියුලයකි. වේෆරයේ "වියළීම සහ වියළීම" සාක්ෂාත් කර ගැනීම සඳහා වේෆරය පිරිසිදු කිරීම සහ වියළීම සඳහා පිරිසිදු කිරීමේ කොටස වගකිව යුතුය. සමස්ත ඔප දැමීමේ උපකරණවල, ඇලුමිනා සෙරමික් වැදගත් කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි.
ඇලුමිනා සෙරමික් සාමාන්යයෙන් වේෆර් ඔප දැමීමේ තැටි සකස් කිරීම සඳහා භාවිතා කරයි, ඒ සඳහා ඉහළ සංශුද්ධතාවය, ඉහළ රසායනික කල්පැවැත්ම සහ මතුපිට හැඩය සහ රළුබව හොඳින් පාලනය කිරීම අවශ්ය වේ.
Chemshun 99.7% Al2O3 සෙරමික් ඇඹරුම් තැටිය උසස් සෙරමික් ද්රව්ය වලින් සාදා ඇති අතර එය විවිධ ද්රව්ය සියුම් ලෙස ඇඹරීමට සුදුසු වේ, විශේෂයෙන් වේෆර්, පිඟන් මැටි සහ වීදුරු වැනි බිඳෙන සුළු ද්රව්ය ඇඹරීමට. අපගේ සෙරමික් ඇඹරුම් තැටිය විවිධ ඇඹරුම් සහ ඔප දැමීමේ ආකෘති අනුව විවිධ ප්රමාණවලින් සාදා ගත හැකිය.
පළ කිරීමේ කාලය: මැයි-30-2025